高純氧氣主要用于標(biāo)準(zhǔn)氣配制，集成電路和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)，高純氧氣，氣體火焰加工。
對(duì)于MOS場(chǎng)效應(yīng)器件，氧化層必須相當(dāng)致密。與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相淀積；作為氧化源和產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；采用高純氧氣進(jìn)行干法氧化，合肥氧氣，其氧化層結(jié)構(gòu)致密，正電荷少，耐壓高。還用于金屬的切割和焊接、煉鋼、國(guó)防、電子、化工、冶金等部門。
高純氧氣化學(xué)性質(zhì)：
環(huán)狀結(jié)構(gòu)與鏈狀結(jié)構(gòu)圖元素都能與氧氣反應(yīng)，氧氣多少錢，這些反應(yīng)稱為氧化反應(yīng)，而經(jīng)過(guò)反應(yīng)產(chǎn)生的化合物（有兩種元素構(gòu)成，且一種元素為氧元素）稱為氧化物。一般而言，非金屬氧化物的水溶液呈酸性，而堿金屬或堿土金屬氧化物則為堿性。
使用高純氧氣時(shí)應(yīng)注意安全，做好防震、防火、防熱、防油等工作。高純氧氣能助燃，應(yīng)放在陰涼處，嚴(yán)禁接近煙火和易燃物；不可在氧氣表螺旋口上抹油；高純氧氣鋼瓶壓力很高，搬運(yùn)時(shí)避免傾倒、撞擊，以防止爆i炸。
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